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性能指标 |
PR02 |
MR15&MD30 |
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性能 |
前级泵内置式 |
前级泵外置式及小车 |
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前级泵 油式机械泵 |
DS-42 |
DS-302 |
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涡卷式干泵 |
N/A |
TS-620 |
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小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 |
5×10-12 atm cc/sec； 5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium | |
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测试口耐压 |
16 mbar，12 Torr，1600 Pa | |
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测试口处对氦气抽速 |
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响应时间 |
＜1.0秒 | |
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设定点 |
标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点 | |
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通讯协议 |
RS-232 通讯借口，9600波特率（9芯窜口） | |
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