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电子级氢氟酸

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重庆三美化工有限责任公司
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  • 地区:重庆
产品分类
热销产品

产品标准:Q/KAIHN01-2009
相对分子质量:20.01

分子式:HF-H20

产品用途:主要用于集成电路工业中芯片清洗与腐蚀,是微电子技术加工过程中不可缺少的关键化学品之一;也用于液晶显示器(TFT-LCD)行业中对玻璃基板、氮化硅、二氧化硅蚀剂、二氧化硅蚀刻;还用于太阳能电池行业硅表面清洗、蚀剂。

理化性质:为无色透明液体,呈弱酸性,有强烈的刺激性气味,强腐蚀。浓度50%的氢氟酸密度为1.157g/ml,在大气压下沸点为107℃,冰点为-46.3℃,常温下比热3.1J/g℃,18℃时,当量电导率为17.32Ω-1cm-1。与金属盐、氧化物和氢氧化物作用产生氢化盐,能侵蚀玻璃和硅酸盐而生成气态的四氟化硅。

包装规格:1000L IBC集装桶;200L桶;20L桶;5L加仑桶

贮藏和运输:运输过程中避免撞击,防止阳光直射,储存于阴凉、通风仓库,保持容器密封。

产品质量标准:

 

级别UP-S级UP级EL级
项目ITEM单位UNIT指标指标指标
含量ASSAY%49%±0.549%±0.549%±0.5
氟硅酸(H2SiF6)mg/L≤100≤100≤100
氧化物(CL)mg/L≤5≤5≤5
硝酸盐(NO3)mg/L≤3≤3≤3
磷酸盐(PO4)mg/L≤1≤1≤1
硫酸盐和亚硫酸盐mg/L≤5≤5≤5
色度COLORHAZEN≤10≤10≤10
颗粒(≥1.0μm)Ea/ml≤10≤25≤25
砷AsPPB≤1≤10≤100
锂LiPPB≤1≤10≤100
钠NaPPB≤1≤10≤100
镁MgPPB≤1≤10≤100
铝AlPPB≤1≤10≤100
钾KPPB≤1≤10≤100
钙CaPPB≤1≤10≤100
铬CrPPB≤1≤10≤100
铁FePPB≤1≤10≤100
钴CoPPB≤1≤10≤100
镍NiPPB≤1≤10≤100
铜CuPPB≤1≤10≤100
锌ZnPPB≤1≤10≤100
镓GaPPB≤1≤10≤100
钼MoPPB≤1≤10≤100
银AgPPB≤1≤10≤100
镉CdPPB≤1≤10≤100
锡SnPPB≤1≤10≤100
钡BaPPB≤1≤10≤100
铂PtPPB≤1≤10≤100
金AuPPB≤1≤10≤100
锰MnPPB≤1≤10≤100
铅PbPPB≤1≤10≤100
铊TiPPB≤1≤10≤100
铍BePPB≤1≤10≤100
硼BPPB≤1≤10≤100
矾VPPB≤1≤10≤100
锗GePPB≤1≤10≤100
锶SrPPB≤1≤10≤100
锆ZrPPB≤1≤10≤100
铋BiPPB≤1≤10≤100
锑SbPPB≤1≤10≤100
好评度
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