净化工程是在一定空间范围内，将空气中的微粒子、有害空气、细菌等污 染物排除，并将室内温度、洁净度、压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内的工程学科。净化工程所特别设计的房间，不论外在 空气条件如何变化，室内均具有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能。

作用

　　控制产品 (如硅芯片等) 所接触之大气的洁净度及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。此空间的设计施工过程即可称为净化工程。

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分类

乱流式 (Turbulent Flow)

　　空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA) 进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板

  乱流式

回 风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。 　　优点：构造简单、系统建造成本低，洁净室的扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。 　　缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往往须耗时相当长一段时间。

层流式(Laminar)

　 　层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由覆盖率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使 用，一般其洁净室等级为Class 1~100。其型式可分为二种： 　　(1)水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。 　　优点：构造简单，运转后短时间内即可变成稳定。 　　缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。 　　(2)垂直层流式：房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得较高之洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可快速排出室外而不会影 响其它工作区域。 　　优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易为作业状态或作业人员所影响。

四川净化无尘室

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