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六氟乙烷（全氟乙烷，C2F6）物理化学性质六氟乙烷（Perfluoroethane），亦称全氟乙烷，PFC-116（R-116），化学式C2F6，商品名称Reflube 116，相对分子量138.00。在常温下，四氟甲烷是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体，沸点-78.2℃，沸点下液体密度1608kg/m3，临界温度19.7℃，临界压力2.98MPa。六氟乙烷（全氟乙烷，C2F6）用途六氟乙烷（C2F6）在微电子工业中主要用作蚀刻剂；还用作混配超低温多元混合制冷剂。六氟乙烷（全氟乙烷，C2F6）包装可重复使用高压钢瓶包装（需回收包装钢瓶）：5kg/瓶、40kg/瓶。
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