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数字MEMS酒精传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时，传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。该传感器灵敏度高，小巧精密，采用I2C数字信号输出方式，便于多个传感器组网观测，同时预置一个引脚作为报警触发信号输出，可广泛应用于环境安全，便携仪器等诸多领域。
传感器特点
MEMS工艺、稳定可靠、超低功耗、高灵敏度、抗电磁干扰
主要应用
便携仪器、工矿安全、医疗卫生、现场控制、气象监测
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