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数字MEMS燃气传感器由基于MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体气敏材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。燃气的浓度越高，传感器的电导率就越高。该传感器灵敏度高，小巧精密，预置2个引脚作为报警触发信号输出，可广泛应用于环境安全，便携仪器等诸多领域。
传感器特点
MEMS工艺、稳定可靠、超低功耗、高灵敏度、抗电磁干扰
主要应用
便携仪器、工矿安全、医疗卫生、现场控制、气象监测
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