制冷剂四氟化碳CF4(R14冷媒)

物理化学性质

四氟化碳(Carbon Tetrafluoride or Tetrafluoromethane )，亦称四氟甲烷，全氟化碳，PFC-14(R14)。分子式：CF4。相对分子量：88.00。在常温下，四氟化碳是无色、无臭、不燃，不溶于水的可压缩性气体。沸点：-128℃，熔点：-183.6℃。液体密度(-130℃)1.613g/cm3，临界温度-45.67℃，临界压力3.74MPa，蒸气压(-150.7℃)13.33kPa，介电常数(25℃，0.5MPa)1.0006。挥发性较高，是稳定的有机化合物之一，在900摄氏度时，不与钢、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25摄氏度及0.1MPa下其溶解度为0.0015%(重量比)，然而与可燃性气体燃烧时， 会分解产生有毒氟化物，危险性类别为第2.2类不燃气体。

用途

四氟化碳(R14)是目前微电子工业中用量的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、超低温制冷剂、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

钢瓶包装

7kg/瓶，30kg/瓶。

企业介绍

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