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　　制冷快报讯：当氨制冷系统完成试压查漏等试验工作，还应进一步检查制冷系统和设备的严密性，并为充制冷剂做好准备、而进行抽真空试验。在系统抽真空时，还可将系统内残存的水分汽化后排出。　　真空试验可以采用系统本身的氨压缩机和另备真空泵的方法。　　（1）利用氨压缩机抽真空试验：首先应打开系统上所有的阀，关…

前言：某微电子工程真空系统如图1 所示，其中2 台真空泵为双级旋片真空泵(型号：2XZ4)，工作时一用一备。真空阀为电磁真空带充气阀，管路材质及球阀材质均为UPVC。真空罐容积为1 m3。系统工作真空度设置在绝对气压15 Torr~50 Tor r(2000 Pa~6650 Pa 之间)。当…

涡旋式无油机械真空泵是从涡旋式压缩机演变而来的一种新型的干式机械真空泵。涡旋式无油机械真空泵的工作原理。构成涡旋式真空泵抽气用涡旋体的曲线为渐开线。固定的涡旋体称定子，转动的涡旋体称转子。转子无自转而以一定的回转半径平动公转。随着转子的平动公转，在两个涡旋体之间形成了吸气腔和压…

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